Układy MEMS stały się już dosyć powszechne, choć ich rozwój rozpoczął się względnie niedawno. Ich najbardziej znane zastosowanie to akcelerometry, ale istnieje szereg innych czujników, które wykonywane są w tej technologii. Z czasem, wraz ze wzrostem precyzji ich wykonywania, powstają nowe pomysły użycia MEMS-ów.

Układy MEMS, to miniaturowe urządzenia elektro-mechaniczne. Ich nazwę można rozszyfrować jako Micro-Electro-Mechanical Systems, ale znane są też określenia takie jak Micromachines i MST - czyli Micro System Technologies. Wszystkie one określają w gruncie rzeczy te same układy, choć wywodzą się z różnych rejonów świata, a więc i powstały w oparciu o różne produkty wytwarzane na całym świecie.

MEMS-y, to układy łączące w sobie elementy mechaniczne i elektroniczne, ale wykonane w miniaturowej skali. Mają mikrometrowe rozmiary, choć wraz z postępem technologicznym powstają coraz mniejsze konstrukcje, które niekiedy nazywa się NEMS-ami (Nano-Electro-Mechanical Systems). Wyróżnia się także układy MOEMS, BIO-MEMS i RF-MEMS. Te pierwsze to układy opto-elektro-mechaniczne, które mają zastosowanie głównie w komunikacji optycznej. BIO-MEMS to układy przeznaczone to pracy z żywą materią. Ostatnia grupa to układy pracujące z falami radiowymi i krótszymi...